電鏡能譜分析
掃描電子顯微鏡，又名SEM，掃描電鏡，是一種在真空下用電子束掃描樣品表面，逐點(diǎn)激發(fā)二次電子信號(hào)，根據(jù)信號(hào)強(qiáng)度組成形貌照片，做高倍率的表面外觀形貌觀察的儀器，檢測(cè)流程包括制樣、上機(jī)觀察拍照，*后提供外觀形貌照片等數(shù)據(jù)。
在半導(dǎo)體器件的失效分析中，可用二次電子像來觀察芯片表面金屬引線的短路、開路、電遷移、氧化層的針孔和受腐蝕的情況，還可用來觀察硅片的層錯(cuò)、位錯(cuò)和拋光情況及作為圖形線條的尺寸測(cè)量等。
EDS能譜儀，又名顯微電子探針，是一種分析物質(zhì)元素的儀器，常與掃描電鏡或者透射電鏡聯(lián)用，在真空室下用電子束轟擊樣品表面，激發(fā)物質(zhì)發(fā)射出特征x射線，根據(jù)特征x射線的波長，定性與半定量分析元素周期表中Be以上的物質(zhì)元素，檢測(cè)流程包括電鏡樣品制備，上機(jī)操作分析，*后提供成份分析譜圖與半定量成份組成比等數(shù)據(jù)。
能譜儀除了分析速度快，可做定量計(jì)算外，還可以選擇不同的方式進(jìn)行分析，即可選點(diǎn)、線及區(qū)域進(jìn)行分析，還可做不同元素的面分布圖（mapping）。
主要用途：
1、外觀形貌觀察，放大1000倍到30萬倍率，尺寸測(cè)量等；
2、選定微小位置區(qū)域，探測(cè)元素成份與含量；3、是失效分析當(dāng)中對(duì)于微小痕量金屬物質(zhì)檢測(cè)的*重要的檢測(cè)手段。即可選點(diǎn)、線及區(qū)域進(jìn)行分析，還可做不同元素的面分布圖。 |
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