開爾文探針(Kelvin Probe)是一種非接觸無損震蕩電容裝置,用于測量導(dǎo)體材料的功函數(shù)(Work Function)或半導(dǎo)體、絕緣表面的表面勢(Surface Potential)。
材料表面的功函數(shù)通常由最上層的1-3層原子或分子決定,所以開爾文探針是一種最靈敏的表面分析技術(shù)。
我們的開爾文探針系統(tǒng)包括:
□ 單點開爾文探針(大氣環(huán)境及氣氛控制環(huán)境);
□ 掃描開爾文探針(大氣環(huán)境及氣氛控制環(huán)境);
□ 超高真空(UHV)開爾文探針;
□ 濕度控制的腐蝕開爾文探針;
掃描開爾文探針系統(tǒng) (ASKP)
ASKP系統(tǒng)是一款可以被大多數(shù)客戶所接收的高端掃描開爾文探針系統(tǒng),它是在SKP基礎(chǔ)之上包括了彩色相機/TFT顯示器、2毫米和50微米探針、外部數(shù)字示波鏡等配置,其規(guī)格如下:
□ 2毫米,50微米探針;
□ 功函數(shù)分辨率 1-3 meV(2毫米針尖),5-10 meV(50微米針尖);
□ 針尖到樣品表面高度可以達到400納米以內(nèi);
□ 表面勢和樣品形貌3維地圖;
□ 探針掃描或樣品掃描選配;
□ 彩色相機、調(diào)焦鏡頭、TFT顯示器和專業(yè)的光學(xué)固定裝置;
□ 參考樣品(帶相應(yīng)的掃描開爾文探針系統(tǒng)的形貌);
□ 備用的針尖放大器;
□ 24個月超長質(zhì)保期;
儀器的特色
□ 全球*一臺商用的完全意義上的開爾文探針系統(tǒng);
□ *高分辨率的功函數(shù)和表面勢,*好的穩(wěn)定性和數(shù)據(jù)重現(xiàn)性;
□ 非零專利技術(shù)(Off-null,ON) ——ON信號探測系統(tǒng)在高信號水平下工作,與基于零信號原理(null-based,LIA)的系統(tǒng)相比,不會收到噪聲的影響擁有高靈敏度;
□ 高度調(diào)節(jié)專利技術(shù) ——我們的儀器在測量和掃描時可以控制針尖的高度。因為功函數(shù)受 樣品形貌的影響,針尖與樣品表面距離的調(diào)節(jié)意味著數(shù)據(jù)的高重現(xiàn)性且不會漂移;
□ 該領(lǐng)域內(nèi),擁有*好的信噪比;
□ 快速響應(yīng)時間 ——測量速度在0.1-10秒間,遠快于其他公司產(chǎn)品;
□ 功能強的驅(qū)動器 ——選用Voice-coil(VC)驅(qū)動器,與通常的壓電驅(qū)動器相比,VC驅(qū)動器頻率要穩(wěn)定得多、控制的針尖振幅大得多、支持平行多探針操作、支持不同直徑探針操作;
□ 所有開爾文探針參數(shù)的全數(shù)字控制; |
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