SH 系列空心熱陰極等離子鍍膜機電氣總成
特點： 本系統(tǒng)用于以空心熱陰極等離子電子束蒸發(fā)源（HCD槍）實現(xiàn)金屬材料蒸發(fā)的真空鍍膜設(shè)備，系統(tǒng)的電源部分全部采用高頻開關(guān)技術(shù)，相比傳統(tǒng)的可控硅（GTO）及接觸調(diào)壓器控制顯示出無比優(yōu)越的性能，系統(tǒng)集成度、工作效率及穩(wěn)定性極大提高。
系統(tǒng)組成
真空計 HY9940C（清華大學(xué)電子工程系）測量范圍覆蓋大氣到鍍膜機的極限真空值
質(zhì)量流量控制 FLOW-1型四路氣體控制，可實現(xiàn)各種氣體之間的獨立或比例控制
機組控制 提供開機、裝具及鍍膜結(jié)束等工作流程所需的對設(shè)備主機操 控機構(gòu)，并顯示相應(yīng)單元工作狀態(tài)
電源控制 調(diào)節(jié)鍍膜所需電源參數(shù)，控制鍍膜流程各電源啟停時序
引束電源 [SOLICITATION]用于熱空心陰極產(chǎn)生等離子體電子束的誘導(dǎo)電源
主束電源 [DISCHARGE]用于維持熱空心陰極產(chǎn)生等離子體電子束的工作電源，此高密度等離子體電子束轟擊靶材使其蒸發(fā)
加速電源 [ACCELERATE]用于提供工件負偏壓，提高粒子運動能量，增加膜層附著力
聚焦電源 [MAGNETIC COIL]用于聚焦及偏轉(zhuǎn)電子束，修正電子束與靶材 的位置關(guān)系
槍集束電源 [GUN COIL]用于初步聚焦電子槍電子束
使用環(huán)境 環(huán)境溫度 0-40℃
環(huán)境濕度 相對濕度≤85％
空氣清潔 無粉塵 無腐蝕性易燃性氣體 通風(fēng)良好
冷卻水 清潔 不含礦物質(zhì)及其他可溶性物質(zhì)
水溫 15-25℃
壓力 0.15±0.05Mpa |
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