隨著現(xiàn)代工業(yè)的快速發(fā)展, 精密光學元件在各個工業(yè)領(lǐng)域有著廣泛的應用, 光學元件作為實現(xiàn)光學功能的載體, 為各類光學儀器的開發(fā)使用起到了至關(guān)重要的作
用。順應科學技術(shù)的發(fā)展,人們對光學元件的檢測提出了越來越高的要求,光學元件檢測技術(shù)也受到了廣泛重視。
現(xiàn)代光學元件的檢測內(nèi)容與方法具體有以下幾個方面:
一、光學材料性能的檢測:
折射率,色散,非均勻性,應力雙折射,氣泡與雜質(zhì),條紋,光吸收等
二、光學元件的基本量測量:
平面(棱鏡):幾何尺寸 面形,角度,平行度
透鏡:幾何尺寸,外徑,厚度,倒邊 面形,中心偏
元件表面質(zhì)量:劃痕, 麻點,粗糙度
元件薄膜: 厚度、均勻性、透過率、應力、形變、偏振等
三、光學系統(tǒng)特性參數(shù)的測量:
顯微鏡:放大率,數(shù)值孔徑
望遠鏡:焦距,放大率,相 對孔徑,視度
照相物鏡:相對孔徑,分辨率,像面照度, 雜光系數(shù)
四、光學系統(tǒng)參數(shù)與像質(zhì)檢測:
焦距與星點測量,分辨率測量,幾何像差測量,波像差檢驗,透過率測量,像面照度測量,雜光系數(shù)測量,光學傳遞函數(shù)測量
五、光源和接收器、激光參量和波面質(zhì)量的檢測等方面也都屬于光學檢測范圍。
另外,還有非光學量用光學測量的種種方法進行檢測:位移、形變、形貌等方面也都屬于光學檢測范圍。
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