活塞泵廠家真空系統(tǒng)應(yīng)用低溫泵在超高真空爐實(shí)例
通過低溫介質(zhì)將抽氣面溫度降低到20 K 以下，抽氣面就可以冷凝沸點(diǎn)溫度較低的氣體，從而抽出大量的氣體。這種利用低溫抽氣面將氣體冷凝的抽氣泵叫低溫泵，或冷凝泵。是利用低溫介質(zhì)降低表面溫度后將氣體冷凝、吸附或是冷凝+ 吸附，將被抽空間的壓力降低，而獲得真空或維持真空狀態(tài)的裝置。
作為完整的抽氣系統(tǒng)，低溫泵由兩部分組成，主體為真空泵體，第二部分為壓縮機(jī)�，F(xiàn)在得到廣泛應(yīng)用的都是制冷機(jī)式低溫泵，其核心是低溫制冷機(jī)。工作基本流程為：氦氣首先被壓縮到高溫高壓狀態(tài)；再通過熱交換器被冷卻為常溫氦氣；經(jīng)純化后的高純氦氣*后經(jīng)汽缸完成絕熱膨脹，變成低溫氦氣。如此不斷循環(huán)，氦氣被不斷降溫，成為制冷介質(zhì)—低溫氦氣。
選擇低溫泵的優(yōu)勢有：
①潔凈，純無油，抽氣范圍寬，可快速獲得理想的超高真空環(huán)境；
②與口徑相同的其它真空泵相比，低溫泵有更大的抽速，尤其抽出水蒸汽的能力；
③對被抽氣體無選擇，雜質(zhì)顆粒而不影響系統(tǒng)工作；
④可以任意角度安裝，沒有運(yùn)動部件，不需要前級泵，運(yùn)行和維護(hù)成本低；
⑤暴露大氣對系統(tǒng)影響小，壓縮機(jī)斷水后可以自保護(hù)，所以可以實(shí)現(xiàn)無人值守
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