型號 Flex-85
外形 3,000mm（寬） x2,500mm（長） x 2,500 mm (高 )
重量 7500KG左右
電力需求 380V，50Hz, 3Phase, approx. 50A Max
修復(fù)能力 可修復(fù)樣品尺寸 3~85寸
可修復(fù)范圍 顯示區(qū)內(nèi)任何位置
修復(fù)時間 120S左右每個像素（尺寸200um*100um的pixel）
適用產(chǎn)品類型 Cell段產(chǎn)品（OLED面板，IPS,ON-CELL/IN-CELL等TFT面板），模組段產(chǎn)品（已貼偏光片，帶TP模組）
遮光性 修補顏色在模組背光下不可見
平臺功能 Gantry結(jié)構(gòu) 龍門式
X-Y-Z 行程 2000*1200*50mm
移動精度 0.1um
X-Y運動速度 0~200mm/s
Z 運動速度 0~2mm/s可調(diào)
定位 AOI坐標(biāo)自動定位
光學(xué)特性 光路系統(tǒng)倍率  50X~ 1000X ,5X ,10X ,20X ,50X,100X Objects
物鏡切換速度 0.2~0.7s
聚焦 激光自動聚焦
光學(xué)分辨率 0.7um
相機 200W/500W像素工業(yè)相機
激光特性 激光系統(tǒng) 激光切割系統(tǒng)(5~500 nj/Pluse Maximum@250KHz,20X object，532nm)
能量調(diào)節(jié)精度 0-1000 steps
0-100%
激光波長 1064nm，532nm，355nm
脈寬 500fs
光斑尺度 0.8~1.5um @100X object
1.0~3.0um @50X object
激光壽命 ＞10年，維護間隔＞6,000小時
掃描面能量均勻性 優(yōu)于5% IR
工作模式 Scan掃描式 
掃描形狀 可任意定義形狀
工藝參數(shù) 軟件可以添加任意組工藝參數(shù)
控制 工作模式 自動修復(fù)，實現(xiàn)數(shù)據(jù)的自動導(dǎo)入和輸出，聯(lián)機通訊
手動或者半自動修復(fù)
上下片 機械手或者流水線
CIM系統(tǒng) 有
減震 主動式減震系統(tǒng)，能夠?qū)崿F(xiàn)50X 物鏡下畫面不抖動
工業(yè)PC 23寸顯示器&電腦：i7 處理器，1TB硬盤2塊(其中一塊為備份硬盤)，8G內(nèi)存，1G獨立顯卡，DVD-ROM
通訊接口 RS232/EtherCAT/GPIB等
安全 整機帶屏蔽罩，操作人員在屏蔽罩外操作
緊急開關(guān)EMO
限位sensor，運動平臺和激光系統(tǒng)限位互鎖
Interlock報警，自動關(guān)閉系統(tǒng)(軟件設(shè)置為可選)
應(yīng)用 TFT-LCD Panel亮點的修復(fù)，OLED Panel亮點的修復(fù) |
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