| 首先由自動(dòng)控制系統(tǒng)對(duì)激光器發(fā)出工作指令,并使激光器工作在已經(jīng)設(shè)定好的工作模式,激光器發(fā)出的激光束經(jīng)過光束調(diào)整輸出裝置!整形∀后輸出到固定被清洗樣品的移動(dòng)平臺(tái)上來清除其表面污物(也可以將待清洗樣品固定,激光器或光束傳輸系統(tǒng)置于移動(dòng)平臺(tái)上),并由監(jiān)測(cè)系統(tǒng)監(jiān)控著樣品的清洗情況,當(dāng)達(dá)到清洗的標(biāo)準(zhǔn)時(shí),監(jiān)測(cè)系統(tǒng)就向控制系統(tǒng)發(fā)出清洗完成指令,自動(dòng)控制系統(tǒng)便控制著移動(dòng)平臺(tái)按照設(shè)定的運(yùn)動(dòng)方式移動(dòng)到下一個(gè)清洗位置繼續(xù)清洗,同時(shí)向監(jiān)測(cè)系統(tǒng)發(fā)出繼續(xù)監(jiān)測(cè)信號(hào),如此往復(fù),直至整個(gè)清洗過程結(jié)束 |
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