醫(yī)藥及生物芯片：
平面及等離子顯示器：
化工：
其他材料薄膜制造設(shè)備：APCVD，LPCVD，MBE，HVPE等。
特氣設(shè)備及潔凈部件（特氣鋼瓶柜、閥門箱）主要用于控制高純特殊氣體，又稱電子特氣，包括氫氣H2、氮?dú)釴2、氧氣O2、 氬氣Ar、磷烷PH3、砷烷AsH3、硅烷SiH4、乙硼烷B2H6、氨氣NH3、三氯一氫硅烷TCS、Freon氟利昂氣體、 氯氣CL2、氯化氫氣體HCL、三氯化硼B(yǎng)CL3、三甲基硼TMB、硼烷B2H6、二氯二氫硅烷DCS等等多種氣體或液化氣體。同時(shí)，提供危險(xiǎn)氣體的泄漏探測(cè)器（探測(cè)系統(tǒng)）及一般氣體的濃度偵測(cè)等服務(wù)。
產(chǎn)品及服務(wù)：
上海茂竺（上海茂索）的特氣設(shè)備有特氣柜(Gas Cabinet或稱鋼瓶柜、氣瓶柜)，氣體流量控制箱(Gas Box by MFC),閥門箱（VMB）,閥門盤（VMP），氣體偵測(cè)器（Gas Detector），廢氣處理器(Scrubber)以及化學(xué)品供應(yīng)機(jī)臺(tái)（CDU、TEE-BOX、SAMPLING BOX）。
上海茂竺（上海茂索）公司還提供特氣設(shè)備的安裝服務(wù)、特氣系統(tǒng)的二次配管及化學(xué)品供應(yīng)機(jī)臺(tái)的安裝、化學(xué)品供應(yīng)管道的配管等高潔凈要求的業(yè)務(wù)。
從日本、歐美等發(fā)達(dá)國(guó)家進(jìn)口的電子級(jí)材料，如EP級(jí) （BA級(jí)、AP級(jí)）不銹鋼管道（Tube，SS316L,SS304,或稱電子級(jí)管道、超高純管道、潔凈管道），隔膜閥（Diaphragm Valve）, 減壓閥（Regulator，或稱調(diào)壓閥）,過濾器（filter，0.003μm），fitting（Gland ,Tee …）等等超高純特殊氣體系統(tǒng)中必需采用的各類零部件。同時(shí)，提供危險(xiǎn)氣體的泄漏探測(cè)器（探測(cè)系統(tǒng)）及一般氣體的濃度偵測(cè)等服務(wù)。 |
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