氣體供應(yīng)商提供的高純氣體在輸送過程中由于環(huán)境的原因，仍會產(chǎn)生污染,使氣體的純度降低，這對于某些領(lǐng)域是不允許的。如單晶硅的拉制，半導(dǎo)體、大規(guī)模集成電路的研制和生產(chǎn)等。在這種場合下，一般采用氣體終端凈化器，以保證向生產(chǎn)過程中供氣的質(zhì)量。
北氧牌超（高）純氮?dú)饨K端純化器采用組合式凈化氮?dú)獾墓に嚶肪�，根據(jù)用戶的需要，有針對性地選擇物理吸附、催化反應(yīng)法、化學(xué)吸附法、活性金屬合金吸附法，凈化原理是：原料氣首先通過催化反應(yīng)器，由高效催化氧化劑氧化脫除氫、氧、一氧化碳、甲烷（烴類）、等雜質(zhì)，然后通過吸附器吸附微量水、二氧化碳，得到高品質(zhì)的高純氮?dú)怏w。如氣體純度要求達(dá)到>99.9999%，則采用專門用于凈化氮?dú)獾幕钚越饘俸辖饍艋瘎┪諝堄嗟牡獨(dú)庵须s質(zhì)，得到超高純氮?dú)狻?
處理氣量：0.5-300m3/h
氮?dú)饧兌龋?9.999-99.9999999%
應(yīng)用范圍：主要用于金屬熱處理加工，磁性材料生產(chǎn)、半導(dǎo)體外延生產(chǎn)、液晶顯示材料生產(chǎn)、生物醫(yī)藥等，它們廣泛的用于氣體行業(yè)、電光源行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、科研行業(yè)。 |
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