Cryo-Plex 16低溫泵16英寸口徑
成熟的低溫泵設(shè)計 - 高容量和高性能
Cryo-Plex16低溫泵是一種高容量低溫泵，具有成熟的雙級冷頭設(shè)計（吉福德/麥克馬洪原理）高抽速捕捉水蒸汽和氣體，實現(xiàn)無油，高和超高真空。Cryo-Plex16低溫泵是專為大型真空應(yīng)用，可靠性，性能和容量是非常重要的。
主要特點與優(yōu)勢
單臺低溫泵解決方案
單獨一臺Cryo-Plex16低溫泵即可滿足容量和性能要求的許多大腔室應(yīng)用。單臺低溫泵解決方案簡化了安裝和維護(hù)，提高工作效率和降低總成本，使Cryo-Plex16成為低溫泵箱涂層系統(tǒng)，空間模擬室和電子束鍍膜系統(tǒng)的*佳解決方案。
工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計
Cryo-Plex16個進(jìn)口法蘭配置符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的國際標(biāo)準(zhǔn)化組織（ISO）和CVC規(guī)格，可無縫集成到現(xiàn)有的工藝設(shè)施，方便與其他OEM冷泵交換。
靈活的配置
完備的生產(chǎn)線，低溫泵配件支持靈活的配置，以確�？煽啃院�*佳性能。Cryo-Plex16低溫泵基于行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)或定制設(shè)計，可以安全地安裝在任何方向。硅二極管或氫蒸汽球（HVB）傳感器在第二階段測量溫度，以幫助控制再生過程中（雙二極管也可用）。
亮點
高容量，高性能的設(shè)計
可靠的高速無油的高和超高真空
二十年的歷史，成熟的技術(shù)和專業(yè)的設(shè)計
行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的兼容性，可無縫集成到現(xiàn)有設(shè)施
優(yōu)化的監(jiān)視和控制（可選）
全球銷售和24×7支持
美國制造
Cryo-Plex 16 技術(shù)參數(shù)
氣體抽速 (升/)
空氣 5,000
水蒸氣 16,000
氫氣 5,000
氬氣 4,200
氣體容量 – 標(biāo)準(zhǔn)升
氬氣 2,500 torr-liters
氫氣@ 5X10-6 15 torr-liters
吞吐量
氬氣 500 scc / minute
交叉 300 torr-liters
物理規(guī)格
重量 160 lb. (72.7 kg)
整體高度/法蘭標(biāo)準(zhǔn) 23.2 inches (58.9 cm) /CVC
23.1 inches (58.7 cm) / ISO
*大法蘭直徑/標(biāo)準(zhǔn) 18.0 inches (45.7 cm) / CVC
17.7 inches (44.9 cm) / ISO
進(jìn)氣法蘭尺寸 / 標(biāo)準(zhǔn) 16 inch /CVC
NW 400 / ISO
冷卻時間(達(dá)到 20 K)
60 Hz 150 minutes
聯(lián)系人：
聶祿君 +86-21-56830192 +86-18201968671 |
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